環境温度の重要性

弊社でこれまで検証を続けてきた結果、重要な事実があります。
10－5g/㎡/day以下の検出をする場合、測定装置の環境温度が非常に重要なポイント条件になります。
測定装置の温度は配管、チャンバ含め40℃になります。周辺環境温度が仮に25度±2℃とします。
この環境温度が上下範囲が大きいと測定数値が振れる場合があります。これは非常に低いベースラインを出さないと検出が難しい為です。
少しの温度変化が装置にも影響します。この重要なポイントを捉えて装置に反映しています。
水蒸気透過率測定値　10-5g/㎡/day以下の測定検出はそれだけ難しいです。

これまでの知識と経験からバリア膜開発のお力になればと考えております。