従来の差圧法で10-6 g m-2 day-1オーダーのガス、水蒸気透過度が測定できなかったのは、容器壁からの放出ガス、水蒸気量を低減できなかったこと、ガス、水蒸気の吸着の影響が残ること、真空ポンプの到達圧力が10-6 g m-2 day-1のガス、水蒸気分圧を正確に検知できるところまで達していないことです。加えて真空計（全圧計）を圧力測定に用いるとガス（H2, CO2, O2, N2等）、水蒸気の検知するため正確な値にならないという課題もありました。　四重極質量分析計(QMS)を用いるとガス、水蒸気の分圧測定がです。しかし、 QMSの感度にはガス種依存性がありますが、ガス、水蒸気に対する感度がカタログや文献に記載されていないことや、長期間使用すると感度変化が起こりやすいという課題もありました。
そこで、2台のターボ分子ポンプ（TMP）をタンデム(直列)に接続した超高真空排気と検出器にQMSを採用したガス透過度測定装置を開発に成功しました。念入りなベーキングを行うことにより，到達圧力を10-8 Pa台以下に低減しバックグラウンドの水蒸気を可能な限り低減した． 従来、真空容器内に絶対量が既知であるガス、水蒸気を安定に,、再現性良く導入することは,、困難であるとされていましたが、“標準コンダクタンスエレメント（SCE）”を組み込んだことで、定量に用いるQMSをガス透過度測定装置内で絶対値校正し、ガス透過度を計測する手法を開発しました。
加えて装置内壁の吸着ガス、水分の影響を差し引く新たな手法も開発した装置が弊社、ガス、水蒸気透過度測定装置になります。