従来、真空容器内に、絶対量が既知である水蒸気を、安定に、再現性良く導入することは、困難であるとされてきたが、国立研究開発法人 産業技術総合研究所が開発した“標準コンダクタンスエレメント（SCE）”を用いると、それが可能になる。
　SCEの上流側に任意の圧力（隔膜真空計で測定）の水蒸気を導入し、SCEの下流側に設置した質量分析器のm/z=18のイオン電流値を計測する。水蒸気導入圧力を変えて測定を複数回繰り返し、水蒸気導入圧力と質量分析器のm/z=18のイオン電流値の累乗回帰曲線（検量線）によりフィルムのガス透過度を求めることができる