ターボ分子ポンプ（TMPと略す）

ターボ分子ポンプ（TMPと略す）は、ガスを真空系外に排出することのできる唯一の極高真空ポンプである。しかし、水素等の軽いガスの圧縮比を大きくできないという弱点がある。圧縮比を大きくするために、2台のTMPを直列につなぐタンデム型の運転が行われ、圧力は10-9Pa～10-10Pa が得られ、水蒸気透過率、透湿度を測定するベースラインを出すことが可能です。