水蒸気模式

1×10-６g/m2/dayという水蒸気透過量に対応する水蒸気分圧を簡単に見積もると、透過面積10cm2（3.3cm角、3.57cmφ）のバリアフィルムを透過して１ℓの容器に蓄積する水蒸気は、1×10-9g=5.6×10-11mol =1.2×10-4Pa・ℓである。

つまり、1ℓ容器の場合、水蒸気分圧は1日（24時間）で1.2×10-4Paとなる。これを流量に換算すると1.4×10-9Pa・ℓ/sとなり、この容器を実効排気速度10ℓ/sのターボ分子ポンプで排気した場合の容器の到達圧力は(1)式で算出できる。

Peq= QTrans/Sw＋QWall/Sw＋P0

Peq：容器の平衡圧力

QTrans：透過水蒸気流量

Sw：水に対する実効排気速度

QWall：容器壁からの放出水蒸気

P0：ポンプ自体の到達圧力（10-8Pa）