OLED,QLEDなどディスプレイに必須とされる封止性能。その中でも主流なのが膜封止技術で要求される水蒸気透過度10-7 g m-2day-1の封止膜開発が盛んに行われて来ている
これまでガス透過度を高精度に測定するのは困難であり、10-7 g m-2day-1以下まで測定可能な評価装置がなかった。
等圧法・差圧法で測定する手法を種々検討した結果，計測装置の配管やチャンバーからの放出水蒸気が透過する水蒸気よりも多いために10-7 g m-2day-1の計測が困難であることが解った．
超高真空を利用して装置からの放出水蒸気を透過水蒸気流量以下にすることで測定可能になるとの結論に達し，10-7 g m-2day-1以下までの水蒸気透過度の測定が可能なことである．
さらに，QMSを使用しているので水蒸気以外の多種類のガスの透過度を同時に計測が可能。