ガス・水蒸気透過率測定

　キャリアガス不要であり、2台のターボ分子ポンプを搭載することにより、チャンバ内、配管内を高真空にするとこができるため、容壁や配管内吸着水分を排除できる。更にフィルム基材からのアウトガスも排除します。これにより、ハイバリ10-7g/㎡/dayを測定を可能としています。
また、試料台上部にダイレクトに測定フィルムが接触して測定を行うため、ローバリアフィルム10-0g/㎡/dayでも測定値を測定することができます。

測定タイム

　弊社装置では、ローバリアフィルム10-0g/m/day～10-3g/㎡/dayの測定であれば装置スタンバイ状態であれば3日間で測定が終了。
ハイバリア10-7g/㎡/dayでも7日間で測定が終了します。

測定フィルム

　これまでの検証結果から、ガス・水蒸気透過率測定を行なう際のトラブルなど経験実績からノウハウを活かしあらゆる対応が可能です。
安心して頂けると思いますので、是非、サンプリングからお手伝いさせて頂ければと思います。