容器壁からの放出ガスの低減

測定装置真空排気中、ステンレス鋼（SUS304L）から放出される水蒸気流量には時間変化がある。

　長時間排気しても10-3～10-4 g/m2/ay程度（市販測定装置の検出限界）であり、10-6g/m2/dayまで放出ガスを低減するには１万時間（約400日）を要する。

そこで吸着水蒸気を効率よく除去して、短時間で超高真空領域の圧力に到達させる手段として、ベーキングが用いられる。ベーキングは容器内壁表面に吸着した水蒸気の吸着滞在時間を短縮し、真空空間に放出させ、ポンプが排気できる確率を上昇させる効果がある。

　超高真空から極高真空になると放出ガスの主成分は水素となり、水蒸気はCO やCO2 と比べても少なくなり、所定の圧力達成の障害とはならなくなる。ベーキングにより10-6g/m2/dayの測定に障害となる容器壁からの放出水分を除去することができる。